（1）鋼表面保持非常潔凈，因為沒有氣體的相互反應，真空環境下碳更快地到達鋼的表面。

　　（2）滲可進行高溫滲碳，所以適當提高滲碳溫度，可大大縮短滲碳時間。

　　（3）因低壓真空滲碳的控制系統能對滲碳工藝進行精確控制，因此所處理工件有良好重復性，且工件變形小，表面光亮，無需滲碳后再進行機械加工。

　　（4）真空滲碳技術有更大的靈活性，其設備可以作為獨立設備，也可以與冷加工連成一條生產線。設備本身既可以是周期式的，適合小批量，多品種的生產情況。也可以是連續式由多個加熱滲碳室、氣淬室、油淬室、進出料室、真空系統、工件自動運輸系統等組成，適合大批量生產情況。另外，開爐、停爐非常簡單，每爐開爐只需0.5h即可進入工作狀態。

        （5）真空滲碳爐采用冷壁真空技術，無點火裝置，無失火危險，無污染，潔凈，安全，設備操作簡單，維修容易。